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1068:直結型油回転真空ポンプ(二段式)
型式:VRD-16
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1067:直結型油回転真空ポンプ(二段式)
型式:VRD-8
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1066:直結型油回転真空ポンプ(二段式)
型式:VRD-4
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1065:タングステンヒーター基板回転加熱機構
型式:SP-T1
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1064:Sic基板加熱機構
型式:SP-sic
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1063:水冷ジャケットチャンバー
型式:水冷ジャケットチャンバー
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1062:JISチャンバー
型式:JISチャンバー
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1061:冷却/加熱ユニット
型式:冷却/加熱ユニット
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1060:基板冷却機構
型式:SPC-400
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1059:プレート式基板加熱機構
型式:SPH-500
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1058:マスク付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)
型式:マスク付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)
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1057:シャッター付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
型式:シャッター付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
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1056:抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
型式:2元式
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1055:抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
型式:1元式
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1054:UHVマグネトロンスパッタ源
型式:UHVマグネトロンスパッタ源
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