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型式：小型アルミチャンバー I ------------------------------------------------------------------- |
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型式：ボックス型チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：スペースチャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：中型CVDチャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：UHV・HVチャンバー（ALD・CVD） ------------------------------------------------------------------- |
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型式：中型UHV汎用チャンバー II ------------------------------------------------------------------- |
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型式：中型UHV汎用チャンバーI ------------------------------------------------------------------- |
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型式：UHV複合型チャンバー（水冷式） ------------------------------------------------------------------- |
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型式：中型汎用チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：HV縦長チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：フロントハッチ式チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：フランジ数：ICF70x2 ICF203×6 ------------------------------------------------------------------- |
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型式：フランジ数：ICF70x2 ICF152×6 ------------------------------------------------------------------- |
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型式：フランジ数：ICF70x2 ICF114×6 ------------------------------------------------------------------- |
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型式：MBE/PLD 汎用UHVチャンバー ------------------------------------------------------------------- |
