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型式：HV磁性材 マグネトロンスパッタ源 ------------------------------------------------------------------- |
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型式：UHVマグネトロンスパッタ源 ------------------------------------------------------------------- |
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型式：HVマグネトロンスパッタ源 ------------------------------------------------------------------- |
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型式：ICF253CU ------------------------------------------------------------------- |
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型式：ICF203CU ------------------------------------------------------------------- |
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型式：ICF152CU ------------------------------------------------------------------- |
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型式：ICF114CU ------------------------------------------------------------------- |
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型式：ICF70CU ------------------------------------------------------------------- |
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型式：ロート型チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：球体真空加圧チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：半球小型真空加圧チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：半球チャンバー ------------------------------------------------------------------- |
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型式：小型アルミチャンバーⅢ ------------------------------------------------------------------- |
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型式：アルミチャンバー（角型） ------------------------------------------------------------------- |
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型式：小型アルミチャンバー II ------------------------------------------------------------------- |
