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1113:高真空用熱電対導入フランジ
型式:NW40
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1112:高真空用熱電対導入フランジ
型式:NW25
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1111:高真空用熱電対導入フランジ
型式:ICF70
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1110:高真空用熱電対導入フランジ
型式:ICF34
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1109:ビーズ型K熱電対(接点溶接タイプ)センサー
型式:KNB-1
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1108:高温用UHV熱電対(Kタイプ/シース型)1000℃
型式:ICF70 線径Φ1.0mm×500L
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1107:高温用UHV熱電対(Kタイプ/シース型)1000℃
型式:ICF34 線径Φ1.0mm×500L
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1106:UHV熱電対ICFマウント(Kタイプ/シース型)500℃
型式:ICF70 線径Φ1.0mm×500L
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1105:UHV熱電対ICFマウント(Kタイプ/シース型)500℃
型式:ICF34 線径Φ1.0mm×500L
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1104:セル用電源CSP35
型式:セル用電源CSP35
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1103:DCスパッタ用電源DSP30
型式:DCスパッタ用電源DSP30
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1102:小型抵抗加熱用電源EVP50
型式:小型抵抗加熱用電源EVP50
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1101:RFスパッタ用電源T857-1
型式:RFスパッタ用電源T857-1
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1100:マニュアルマッチングBOX(手動整合器)
型式:OWD-1
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1099:スパッタ用DC電源
型式:SGS10
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