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1098:スパッタ用DC電源
型式:SGS5
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1097:マッチングBOX自動整合器
型式:S103Y-1A(1KW用)
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1096:マッチングBOX自動整合器
型式:S102Y-1A(500W用)
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1095:マッチングBOX自動整合器
型式:S101Y-1A(300W用)
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1094:RFジェネレーター
型式:ST859-3(1KW)
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1093:RFジェネレーター
型式:ST859-2(500W)
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1092:RFジェネレーター
型式:ST857-1(300W)
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1091:500W高周波電源+自動整合器
型式:ST859SS
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1090:100W高周波電源
型式:ST847B(100W)
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1089:アルミ冷却/加熱ユニット
型式:アルミ冷却/加熱ユニット
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1088:リチウム用セルWTL-47
型式:リチウム用セルWTL-47
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1087:分子線セルSP130S
型式:分子線セルSP130S
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1086:分子線セルSP140S
型式:分子線セルSP140S
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1085:ヒーターユニット
型式:SP-H100
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1084:グラファイトヒーター機構
型式:SP-G1
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