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商品NO 1874 商品名 nEXT400Dターボ分子ポンプISO160インレット フランジ メーカー エドワーズ 管理 エドワーズ
型式 nEXT400D 価格 商品問合せ
特徴 nEXT400Dは、ISO160またはCF160インレット フランジを装着できるハイブリッド ベアリング複合ターボ ポンプであり、N2排気速度は400ls-1です。nEXTポンプは、Edwardsの実証されたベアリング技術(オイル潤滑式のセラミック製下部ベアリングと乾式永久磁石製上部ベアリング)を組み合わせ、新しい分子ドラッグ ステージを統合した改良型のロータ設計を採用しているため、排気速度と圧縮比が向上し、高いユーザー保守性をもたらします。 このポンプは、EdwardsのTAGコントローラやTICコントローラ シリーズと完全な互換性を持つドライブが内蔵されたDC 24V～48Vのセンサレス モータを搭載しています。 それらのポンプは80Wまたは最大電力の160Wをプリセットできます。前者ではEdwardsの100W TICコントローラが使用でき、アルゴンの排気にも推奨されていますが、フル運転速度まで長い起動時間を要します。 カタログ
仕様 インレット フランジ：DN160ISO-K、DN160CF
アウトレット フランジ： DN25NW
排気速度： N2 400 ls-1 He 390 ls-1 H2 325 ls-1
圧縮比： N2 >1 × 1011 He 1 x 108 H2 5 x 105
RVバッキング ポンプISO/CF使用時の到達圧力： <1 x 10-6 / <1 x 10-8 Pa
推奨バッキング ポンプ* ：RV12/nXDS10i
ベント ポート： 1/8インチBSPメス
パージ ポート： 1/8インチBSPメス
最大連続インレット流(窒素)† ：
水冷(水温15°C、室温40°C) 105 sccm
強制空冷(室温35°C) 90 sccm
ポンプ回転速度：
公称回転速度 60,000 rpm
スタンバイ回転速度 33,000～60,000 rpmの間で可変(デフォルトは42,000 rpm)
プログラム可能な電力制限設定： 50～200Wの間で可変(デフォルトは160W)
90%の速度までの始動時間： 180秒‡
アナログ出力： ポンプ回転速度、 電力消費量、ポンプ温度、コントローラ温度
冷却方法#： 強制空冷/水冷
強制空冷時の室温： 5～35°C
冷却水の最小流量(水温度15°C)： 15 l h-1
水温範囲： 10～20°C
インレット フランジの最大温度： 70°C
動作姿勢： 垂直かつ直立～ 水平+/- 2°
1メートルでの騒音レベル： <45 dB (A)
ポンプが許容できる最大磁界： 5 mT
推奨コントローラ： TIC200ターボ&インスツルメント コントローラ
休止電源： 通常は20 W


* 適用状況によっては小さめのバッキング ポンプを使用できます。 到達圧力が<500 Paの適切なダイヤフラム ポンプ(たとえばXDD1)も使用できます。
† このインレット圧力を超えると、回転速度が公称速度以下になります。
‡ 電力制限は160 Wに設定されています。
# 空冷および水冷用のアクセサリは別個に注文する必要があります。
備考 基本的なポンプ システムには、nEXT400Dポンプ、TAGまたはTICコントローラ、空冷または水冷アクセサリ、および適合するバッキング ポンプが必要です。 管理NO B83200300








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