機器消耗品市場

商品NO	1054	商品名	UHVマグネトロンスパッタ源	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	UHVマグネトロンスパッタ源	価格		商品問合せ
特徴	•シャッター付マグネトロンスパッタ源 •強力なスパッタによりデポジションレートが速い •ターゲットサイズφ2インチ（1インチ〜4インチ有）					カタログ
仕様	（マウントなし）取付フランジ：ICF114〜選択可メタルシールターゲットサイズ：φ2インチターゲットの厚み：非磁性材3mm/磁性材1mm以下（Fe）最大出力：300W(RF/DC）冷却方法：水冷式　ベーキング：150℃ コネクタN型カスタマイズ可
備考				管理NO

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