個別商品情報 商品情報 NO 1847 品名 マグネトロンスパッタ装置 ﾒｰｶｰ （株）真空デバイス 型式 MSP-12S 価格 特徴 １２インチウェハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング電圧 500V 以下でイオンダメージを軽減するマグネトロン方式を採用。 オートコーティング機能で脱ガスから雰囲気ガス導入・コーティングまで全自動。 試料の出し入れが簡単な前方スライド式試料ステージを搭載。Ag ターゲットを装着すれば、透明フィルムなどの光沢処理も簡単に可能。 仕様 電源： 単相ＡＣ１００Ｖ１５Ａアース線付き３芯プラグ 装置サイズ： Ｗ４５０ｍｍｘＤ４４０ｍｍｘＨ４２７ｍｍ 装置重量： ３０ｋｇ ロータリーポンプサイズ： Ｗ２３４ｍｍｘＤ５００ｍｍｘＨ２６４ｍｍ ロータリーポンプ重量： Ｇ－１０１Ｄ ２５ｋｇ コーティング室サイズ： 内径３３０ｍｍ、高さ８０ｍｍ ターゲット電極サイズ： 直径３００ｍｍ 試料ステージ： 直径３００ｍｍ 備考 ターゲット電極の大きさは直径５０ｍｍ。可動式ターゲットにより、１２インチウェハーのような大面積サンプルの一部分をコーティングしたい場合に活躍致します。電極を小型化することによりランニングコストを抑えられます。また、大きなウェハーを割る必要もありません。 商品問合せ カタログ
