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商品情報

NO	1844
品名	マグネトロンスパッタ装置
ﾒｰｶｰ	（株）真空デバイス
型式	MSP-20TK
価格
特徴	この装置は電子顕微鏡試料などに金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性を持っています。 ターゲット材料は主にタングステンを使用し、その他の特殊金属においてもコーティング可能な金属は多数存在します。 電極は空冷マグネトロン方式を採用し、低電圧で特殊金属のコーティングを可能にします。（気体に含まれる電子がマグネトロン運動をし、イオン化効率を大幅に向上させるため。）試料ダメージを大幅に減少させることに貢献しています。
仕様	電源： AC100V, 15A アース線付３芯プラグ使用３ｍ 装置サイズ： 本体 W354mm×D368mm×H430　22kg ロータリーポンプ： 排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１） 重量１４．６ｋｇ 試料室サイズ： 内径149mm、 深さ126mm 試料ステージ： φ47mm　フローティング方式 ターゲット－試料 間隔： 50～70mm 試料サイズ： 直径≦φ45mm、高さ：≦30ｍｍ ターゲット： Ｗ（標準）、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｔｉ等 磁場キャンセルNiプレート ： 貴金属ターゲットAu/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag
備考	必須ユーティリティについて アルゴンガス　二次側圧力０．０５ＭＰａ～０．０８ＭＰａ、接続１／４インチスウェージロック
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白金粒子コーティング（比較例）

タングステン粒子は非常に細かく、白金成膜では物足りない高倍率領域（２０万倍以上）での観察をサポートします。