個別商品情報

NO	1841
品名	マグネトロンスパッタ装置
ﾒｰｶｰ	（株）真空デバイス
型式	MSP-mini
価格
特徴	この装置はマグネトロンターゲットによるメタルコーティング装置です。光学顕微鏡で透明素材の表面を観察する時（Agターゲット）や電子顕微鏡で少数個の試料に導電膜処理する時（Au/Agターゲット）に使用します。ボタンひとつでオートコーティング。煩わしい操作が一切ありません。
仕様	電源： AC100V, 10A アース線付３芯プラグ使用装置サイズ：本体 W180mm×H183mm×D280mm 5kg 試料室サイズ：内径86mmｘ深さ60mm（硬質ガラス）試料ステージ： φ83mm 試料サイズ：有効径φ30mm、高さ20mm以下ターゲット： φ30ｍｍ　マグネトロン型 Au（標準）、オプション（Ag）
備考	小型ターゲット（φ30mm）を採用。低ランニングコストを実現。標準でAuターゲットが付属。卓上SEMの前処理に実力を発揮します。
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