個別商品情報

NO	1839
品名	ＴＭＰ排気真空蒸着装置
ﾒｰｶｰ	（株）真空デバイス
型式	VE-2030
価格
特徴	ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。 TMP はロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。
仕様	電源：ＡＣ１００V（単相１００V１５A）装置サイズ：Ｗ５００ｍｍｘＤ５７４ｍｍｘＨ１０７０ｍｍ装置重量：８０．３ｋｇ（ＲＰ内蔵）真空度測定：フルレンジ真空計排気系：ＴＭＰ６７ℓ/sec、ＲＰ５０ℓ/min 試料ステージ：直径６０ｍｍ真空槽：内径２００ｍｍｘ高さ２７０ｍｍ下部高さ１１０ｍｍは金属製、内径５５ｍｍのサービスポートを搭載。
備考	VE-2030 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。ご研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。
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