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NO 1446
品名 UHVトランスファーロッド(マグネット式)
メーカー (株)スプリード
型式 ICF70-1000L
価格
特徴 •ロードロック室および試料のハンドリング
•試料交換用
•ベーキングが可能です
仕様 SUS304
ベーク温度:150℃
マグネット式
トルク:0.5Nm
回転ゲージ:360°/1回転
リーク量:2×10-11Pa
ストローク:300mm〜1000mm
※オプションでシャフト先端仕様変更可

オプション:
回転ストッパー機構 ¥180,000
備考
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