個別商品情報 商品情報 NO 1307 品名 バリアブルリークバルブ（微少ガス流量を安定調整） ﾒｰｶｰ （株）スプリード 型式 ICF70-ICF34 価格 特徴 •スパッタ装置、ガス分析装置など導入ガス流量の 調節を必要とする真空装置に使用するものです • 極めて微少流領域から安定した調節が可能です •ベーカブル対応 仕様 ボディ：SUS304 調整可能最小リーク量：6.7×10-9Pa以下 バルブ全閉時リーク量：6.7×10-11Pa以下 ベーク温度：450℃ 導入圧力：1MPa ガスケット：銅 備考 商品問合せ カタログ
