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NO 1285
品名 UHV圧力 コントロールバルブ(バタフライ)
メーカー (株)スプリード
型式
価格
特徴 •弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ)
• キャパシタレスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて高速応答、高再現性の真空圧力制
仕様 カスタマイズ可
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