個別商品情報 商品情報 NO 1285 品名 UHV圧力 コントロールバルブ(バタフライ) メーカー (株)スプリード 型式 価格 特徴 •弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ) • キャパシタレスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて高速応答、高再現性の真空圧力制 仕様 カスタマイズ可 備考 商品問合せ カタログ