個別商品情報

NO	1283
品名	HV高真空対応 APCコントロールバルブ（NW）
ﾒｰｶｰ	（株）スプリード
型式	KF50BFV
価格
特徴	•弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです（バタフライ） • コントローラ搭載型バルブ • スプリード販売品限定のスプリードオリジナルアナログソフト（日本語版）付属 • CVD,ALDなど排気コントロールが必要な装置に利用されます
仕様	フランジ：ICF70 材質：アルミニウム/ステンレスシール方式：Oリング回転軸シール使用圧力領域(Pa)：1.10-6〜0.12M
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