個別商品情報 商品情報 NO 1264 品名 ICFバタフライバルブ メーカー (株)スプリード 型式 ICF70BGV 価格 特徴 •コンダクタンス調整バルブ •ゲートバルブとしても使用可 •スパッタ装置の流量調整用に •口径に対するコンダクタンス性能は真空バルブで最大です 仕様 ボディ:SUS304 使用圧力範囲:1×10-5Pa ディスクシール:フッ素ゴムOリング 軸シール:フッ素ゴムOリング 作動方式:手動 備考 商品問合せ カタログ