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NO 1260
品名 UHV超高真空大口径ゲートバルブ(圧空)ICF規格
メーカー (株)スプリード
型式 ICF305GVP、ICF350GVP
価格
特徴 •圧空式超高真空対応ゲートバルブです
仕様 ボディ:SUS304
使用圧力範囲:1×10-8Pa
メンテナンスサイクル:50,000回
ベークアウト温度:200℃(Open)/150℃(Closed)
べローズ材:AM350

オプション:センサー¥12,000
電磁弁¥18,000
備考
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