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NO 1231
品名 UHV超高真空ゲートバルブ(圧空)ICF規格
メーカー (株)スプリード
型式 ICF203GVP
価格
特徴 •圧空式超高真空対応ゲートバルブです
仕様 ボディ:SUS304
使用圧力範囲:1×10-8Pa
メンテナンスサイクル:50,000回
ベークアウト温度:200℃(Open)/150℃(Closed)
べローズ材:AM350
オプション:
電磁弁 ¥18,000
センサー¥12,000
備考
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