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NO 1103
品名 DCスパッタ用電源DSP30
メーカー (株)スプリード
型式 DCスパッタ用電源DSP30
価格
特徴 •Al、Niの金属のスパッタリング用バイアスのDC電源として使用できます
•アナログ制御
仕様 最大出量:300W
出力範囲電力:5W〜300W
出力範囲電流:0.0012A〜1.25A
電源入力:200V
備考
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