個別商品情報 商品情報 NO 1091 品名 500W高周波電源＋自動整合器 ﾒｰｶｰ （株）スプリード 型式 ST859SS 価格 特徴 •ソリッドステート型高性能高周波電源 •自動マッチングボックスとの組み合せによりRFスパッタリングやプラズマCVDなどのプラズマ発生用に使用できます 仕様 周波数：13.56MHz±1KHz 出力電力：0〜500W 500W 連結 出力インピーダンス：50Ω 電源：200V（単相） 高調波出力：2次波-40dB以下 クーリング：強制空冷 サイズ：191×402×360 ※その他製作可 カスタマイズ可 備考 商品問合せ カタログ
