個別商品情報

NO	1064
品名	Sic基板加熱機構
ﾒｰｶｰ	（株）スプリード
型式	SP-sic
価格
特徴	•ALD、CVD用基板加熱に最適 •真空中の実験に広く使用できます
仕様	•ヒーター部：Sicヒーター •最高加熱温度：1000℃ •上下機構：リフトピン式 •フランジ：SUS304 •サイズ：2インチカスタマイズ可
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