個別商品情報

NO	1060
品名	基板冷却機構
ﾒｰｶｰ	（株）スプリード
型式	SPC-400
価格
特徴	•水冷ブロックにウェハを密着し冷却します •冷却方式：水（液体窒素可）
仕様	•最高加熱温度：600℃ •基板：2〜3インチ •上下機構：手動式カスタマイズ可
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