個別商品情報

NO	1054
品名	UHVマグネトロンスパッタ源
ﾒｰｶｰ	（株）スプリード
型式	UHVマグネトロンスパッタ源
価格
特徴	•シャッター付マグネトロンスパッタ源 •強力なスパッタによりデポジションレートが速い •ターゲットサイズφ2インチ（1インチ〜4インチ有）
仕様	（マウントなし）取付フランジ：ICF114〜選択可メタルシールターゲットサイズ：φ2インチターゲットの厚み：非磁性材3mm/磁性材1mm以下（Fe）最大出力：300W(RF/DC）冷却方法：水冷式　ベーキング：150℃ コネクタN型カスタマイズ可
備考
商品問合せ
カタログ