個別商品情報 商品情報 NO 1053 品名 スパッタ源 ﾒｰｶｰ （株）スプリード 型式 HV磁性材 マグネトロンスパッタ源 価格 特徴 •強力なスパッタによりデポジションレートが速い •ターゲットサイズφ2インチ （1インチ〜4インチ有） 仕様 （マウントなし） 取付フランジ：ICF114〜選択可 Oリングシール（位置調整可能） ターゲットサイズ：φ2インチ ターゲットの厚み：非磁性材3mm/磁性材1mm以下（Fe） 最大出力：300W(RF/DC） 冷却方法：水冷式 ベーキング：150℃ コネクタ：N型 オプションシャッター 有 備考 商品問合せ カタログ
