個別商品情報

商品情報

NO	1052
品名	スパッタ源
ﾒｰｶｰ	（株）スプリード
型式	UHVマグネトロンスパッタ源
価格
特徴	•デポジションレートが速い •メタルシールにより超高真空対応 •ターゲットサイズφ2インチ （3インチ有）
仕様	取り付けフランジ：ICF152 ターゲットサイズ：φ2インチ ターゲットの厚み：非磁性材3mm/磁性材1mm以下（Fe） 最大出力：300W(RF/DC） 冷却方法：水冷式 ベーキング：150℃ コネクタ：N型 カスタマイズ可 オプションシャッター有
備考
商品問合せ
カタログ