個別商品情報 商品情報 NO 1034 品名 UHV・HVチャンバー（ALD・CVD） ﾒｰｶｰ （株）スプリード 型式 UHV・HVチャンバー（ALD・CVD） 価格 特徴 •ALD,CVD用に開発されたチャンバー • NW仕様のポートもあり実験の変更等が容易にできます 仕様 SUS304 表面処理：バフ研磨+電解研磨 リーク量：1.33x10-11Pa以下 フランジ数：ICF203×2 ICF152×1 ICF114×2 ICF70×2 ICF34×4 NW25x4 カスタマイズ可 備考 商品問合せ カタログ
