個別商品情報

商品情報

NO	1031
品名	UHV複合型チャンバー（水冷式）
ﾒｰｶｰ	（株）スプリード
型式	UHV複合型チャンバー（水冷式）
価格
特徴	•EB、セル対応チャンバー •チャンバー水冷式 • 交換室の増設ポート付で汎用性が高いチャンバー
仕様	SUS304 表面処理：バフ研磨+電解研磨 リーク量：1.33x10-11Pa以下 フランジ数：ICF203×1　下部ICF253×1 ICF152×2　ICF114×4　ICF70×4 カスタマイズ可
備考
商品問合せ
カタログ