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NO 1028
品名 フロントハッチ式チャンバー
メーカー (株)スプリード
型式 フロントハッチ式チャンバー
価格
特徴 •ハッチ式でチャンバー内部の作業がしやすい多目的チャンバー
• アルバック社、アネルバ社のリフト付装置の交換用チャンバーとして使用できます
• 多機能な用途に利用されます
• スパッタ、EB、CVD、その他に利用できます
• 多くの研究室に採用されています
仕様 材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
フランジ数:ICF70×2 ICF114×1 ICF152×2 ICF203×2 窓×2(標準)
ハッチシール:バイトンOリング

カスタマイズ可
備考
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