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NO 1026
品名 ロードロックチャンバー(多目的)
メーカー (株)スプリード
型式 フランジ数:ICF70x2 ICF152×6
価格
特徴 •安価でロードロック室が構築できます
•多機能な用途に利用されます
•単体でのチャンバーとして使用できます
仕様 SUS304
3箇所回転フランジ
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下

カスタマイズ可
備考
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