個別商品情報 商品情報 NO 1025 品名 ロードロックチャンバー(多目的) メーカー (株)スプリード 型式 フランジ数:ICF70x2 ICF114×6 価格 特徴 •安価でロードロック室が構築できます •多機能な用途に利用されます •単体でのチャンバーとして使用できます 仕様 SUS304 3箇所回転フランジ 表面処理:バフ研磨+電解研磨 リーク量:1.33x10-11Pa以下 カスタマイズ可 備考 商品問合せ カタログ