個別商品情報 商品情報 NO 1013 品名 小型L/LチャンバーⅡ メーカー (株)スプリード 型式 小型L/LチャンバーⅡ 価格 特徴 •小型のロードロック用チャンバーです •UHV仕様で多目的な用途に利用できます 仕様 材質:SUS304 表面処理:バフ研磨+電解研磨 リーク量:1.33x10-11Pa以下 フランジ数:ICF114×2 ICF70×4 ICF特型サイズ70x2 カスタマイズ可 備考 商品問合せ カタログ