個別商品情報 商品情報 NO 1012 品名 UHV小型チャンバーⅢ メーカー (株)スプリード 型式 UHV小型チャンバーⅢ 価格 特徴 •成膜室チャンバーとして利用されます • 多機能な用途に使用されます 仕様 材質:SUS304 表面処理:バフ研磨+電解研磨 リーク量:1.33x10-11Pa以下 フランジ数:ICF203×2 ICF152×2 ICF114×1 ICF70×6 カスタマイズ可 備考 商品問合せ カタログ