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商品情報

NO	1010
品名	UHV標準チャンバーI
ﾒｰｶｰ	（株）スプリード
型式	UHV標準チャンバーI
価格
特徴	•縦横自在 •二つ合わせれば成膜室+ロードロック室として構築できます •多機能な用途に利用されます
仕様	SUS304 表面処理：バフ研磨+電解研磨 リーク量：1.33x10-11Pa以下 フランジ数：ICF70×5　ICF114×1　ICF152×1　ICF203×2 カスタマイズ可
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