個別商品情報 商品情報 NO 1005 品名 小型L/Lチャンバー メーカー (株)スプリード 型式 小型L/Lチャンバー 価格 特徴 •アクセス部がICF152サイズで作業性に優れています •小型真空装置向けのロードロック室です •トップ・ベースブランク構造 仕様 材質:SUS304 表面処理:バフ研磨+電解研磨 リーク量:1.33x10-11Pa以下 フランジ数:ICF152×1 ICF70×3 カスタマイズ可 備考 商品問合せ カタログ