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カート
NO 1005
品名 小型L/Lチャンバー
メーカー (株)スプリード
型式 小型L/Lチャンバー
価格
特徴 •アクセス部がICF152サイズで作業性に優れています
•小型真空装置向けのロードロック室です
•トップ・ベースブランク構造
仕様 材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF152×1 ICF70×3
カスタマイズ可
備考
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